مشخصات پژوهش

عنوان	مشخصه یابی جت پلاسمای فشار اتمسفری آرگون/متان در فرکانس رادیویی 13.56 مگاهرتز
نوع پژوهش	مقاله ارائه شده
کلیدواژه‌ها	پلاسمای رادیویی، پلاسمای اتمسفری
چکیده	در این مقاله، در ابتدا یک دستگاه تولید جت پلاسمای جفت شده ی خازنی فشار اتمسفری در فرکانس رادیویی 56/13 مگاهرتز ساخته شد. جت پلاسما با گازهای آرگون و متان ایجاد و پارامترهای فیزیکی آن مورد بررسی قرار گرفت. وابستگی طول جت پلاسما نسبت به پهنای الکترود قدرت و قطر شیشه ی کوارتز مورد بحث قرار گرفت. در این تحقیق، برای تولید توان لازم برای انجام تخلیه در مدار پلاسمای رادیویی، از منبع تغذیه ی فرکانس رادیویی با توان خروجی 300 وات که معمولا با یک شبکه ی تطبیق دهنده ی امپدانس همراه است، استفاده نمودیم. مقادیر ولتاژ و جریان تخلیه به ترتیب بوسیله ی پروب ولتاژ بالا و پروب جریان اندازه گیری و اطلاعات آن بوسیله ی اسیلوسکوب دیجیتالی ثبت شد. به منطور بررسی پارامترهای جت پلاسمای تولید شده، به بیناب سنجی نوری پرداخته وخطوط طیفی مربوط به ArI، C2 و CH را نسبت به فاصله از نازل جت مورد بررسی قرار دادیم. در نهایت دما و چگالی الکترونی به ترتیب با استفاده از روش رسم بولتزمن و معادله ی ساها-بولتزمن تخمین زده شد
پژوهشگران	رضا صفری (نفر ششم به بعد)، اسکندر اسدی (نفر پنجم)، سیده خدیجه علوی (نفر چهارم)، غلامرضا اطاعتی (نفر سوم)، فرشاد صحبت زاده لنبر (نفر دوم)، امید صمدی (نفر اول)