در این تحقیق به تولید و مشخصه یابی پوشش های شبه الماسی به وسیله پلاسمای اتسمفری پرداختیم. با دو چینش کاری مختلف، به وسیله جت پلاسمای اتمسفری در فرکانس رادیویی 56/13 مگاهرتز در حضور ترکیب گازی آرگون/متان و دیگری ساختار DBD در گستره فرکانس کیلوهرتزی و با ترکیب گازی بخار هگزان/نیتروژن پوشش های شبه الماسی بر سطح شیشه لایه نشانی شده است. ویژگی های اپتیکی ، الکتریکی و مکانیکی این لایه ها تحت تاثیر افزایش زمان لایه نشانی و توان تخلیه بین دو الکترود مورد بررسی قرار گرفته است. ساختار این پوشش ها را با طیف سنجی FTIR ، EDX و رامان مورد مطالعه قرار داده و ظاهر شناسی آنها به وسیله آنالیزهای FESEM، AFM و MAP مورد تحلیل و بررسی قرار گرفت. در ساختار جت پلاسما در گستره فرکانس رادیویی، اثر تغییر فاصله الکترودی و شار گاز متان را بر ظاهر جت پلاسما، فرآیند یونش ترکیب گازی و در نهایت بر کیفیت لایه های ایجاد شده مورد مطالعه قرار دادیم.
