عنوان
|
مشخصه یابی جت پلاسمای هفت گانه اتمسفری آرگون/متان با هدف تولید پوشش های شبه الماسی
|
نوع پژوهش
|
مقاله ارائه شده
|
کلیدواژهها
|
پوشش های شبه الماسی، جت پلاسمای اتمسفری رادیویی
|
چکیده
|
در این مقاله مشخصه یابی جت پلاسمای هفت گانه آرگون/متان با هدف تولید لایه های الماسی در فشار اتمسفری در فرکانس رادیویی 13.56 مگاهرتز و......
|
پژوهشگران
|
محمد اسلامی فر (نفر اول)، امید صمدی (نفر چهارم)، رضا صفری (نفر سوم)، فرشاد صحبت زاده لنبر (نفر دوم)
|