در میان انواع مواد نانوساختار، نانوذرات و نانو سیمهای سیلیکونی بهعنوان گزینههای متداول و مطلوب برای ساخت قطعات الکترونیکی تجاری آتی مورد توجه پژوهشگران قرار گرفته اند. حوزه ی کاربردی این نانوساختارها از نانو مدارها تا زیست حسگرهای تشخیصی را پوشش میدهد. در پژوهش حاضر نانوذرات و نانوسیم های سیلیکونی با استفاده از کاتالیست طلا به روش های لایه نشانی بخار شیمیایی و تکنیک بخار مایع جامد (VLS) در زمان های مختلف سنتز شدند. مشخصه های نانوساختاری نمونه های سنتز شده با استفاده از روش های تجربی میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)، و پراش پرتو ایکس (XRD)، مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج بدست آمده از تصاویر SEM نانو ذرات را با مورفولوژی کروی با قطری در محدوده ی 60 تا 180 نانومتر و نانوسیمها را با ریختشناسی سوزنی شکل نشان داد. آنالیز XRD حضور قله ی سیلیکونی با فاز بلوری را در نمونه ی سنتز شده تأیید کرد. نتایج حاصل TEM و رامان به ترتیب ساختار درونی نمونه ها را در مقیاس های 10 و 20 نانومتر بصورت هسته پوسته با ساختاری بلوری نشان می دهد. این نانوساختارها در حسگرهای مبتنی بر نانوسیم های سیلیکونی کاربرد فراوان دارند.