نانوسیمهای سیلیکونی با استفاده از نانو کاتالیست طلا به روش رسوب بخار شیمیایی در محیط پلاسمایی در فرکانس خیلی بالا ( VHF-PECVD ) در دمای 400 درجه سانتی گراد در زمانهای متفاوت جهت بررسی ساختار آنها سنتز شد. از میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی ( SEM )، میکروسکوپ های الکترونی عبوری ( TEM )، پراش انرژی پرتو ایکس ( EDX )، پراش اشعه ایکس (X-Ray Diffraction) و طیف سنجی رامان ( Raman spectroscopy ) برای بررسی خواص نانوسیمها استفاده شد. آنالیز تصاویر SEM نشان می دهد که با افزایش زمان رشد قطر، طول و چگالی سطحی آنها تغییر می کند.