فرشاد صحبت زاده لنبر

در این مقاله، در ابتدا یک دستگاه تولید جت پلاسمای جفت شده ی خازنی فشار اتمسفری در فرکانس رادیویی 56/13 مگاهرتز ساخته شد. جت پلاسما با گازهای آرگون و متان ایجاد و پارامترهای فیزیکی آن مورد بررسی قرار گرفت. وابستگی طول جت پلاسما نسبت به پهنای الکترود قدرت و قطر شیشه ی کوارتز مورد بحث قرار گرفت. در این تحقیق، برای تولید توان لازم برای انجام تخلیه در مدار پلاسمای رادیویی، از منبع تغذیه ی فرکانس رادیویی با توان خروجی 300 وات که معمولا با یک شبکه ی تطبیق دهنده ی امپدانس همراه است، استفاده نمودیم. مقادیر ولتاژ و جریان تخلیه به ترتیب بوسیله ی پروب ولتاژ بالا و پروب جریان اندازه گیری و اطلاعات آن بوسیله ی اسیلوسکوب دیجیتالی ثبت شد. به منطور بررسی پارامترهای جت پلاسمای تولید شده، به بیناب سنجی نوری پرداخته وخطوط طیفی مربوط به ArI، C2 و CH را نسبت به فاصله از نازل جت مورد بررسی قرار دادیم. در نهایت دما و چگالی الکترونی به ترتیب با استفاده از روش رسم بولتزمن و معادله ی ساها-بولتزمن تخمین زده شد